Nanomateriały Cienkie warstwy izolatorów
Nanomateriały
01Technika
CBRTP w toku realizacji wielu projektów półprzewodnikowych wypracował kompetencje oraz know-how w zakresie wytwarzania cienkich warstw izolatorów na dowolnych powierzchniach. Rodzaj zastosowanej techniki zależy od rodzaju podłoża i wymaga konsultacji oraz oceny materiału przed wykonaniem procesu.
02Metody osadzania
– nanoszenie warstw atomowych (ALD)
– rozpylanie magnetronowe (PVD)
– nanoszenie z fazy gazowej (LPCVD, CVD, PECVD)
- materiały i ich kompozyty: Al2O3, MgO, TiN, AlN
- na dowolnych powierzchniach stabilnych w podwyższonej temperaturze 200oC zależnej od izolatora (100-550oC) o dowolnym rozwinięciu powierzchni do maksymalnych rozmiarów w zakresie 200x200x600 mm3
- proces w temperaturze 100-550oC
- możliwe powierzchniowe i objętościowe domieszkowanie warstw
- możliwe wytwarzanie struktur o gradientowej zmianie składu
- możliwe sterowanie stopniem krystaliczności warstwy
03Wykorzystanie
- ogniwa fotowoltaiczne
- sensory
- transparentna elektronika
- filtry optyczne
- struktury modyfikujące twardość i adhezję wszelkiego rodzaju materiałów
- zabezpieczenia antykorozyjne
- warstwy antyreflekcyjne
- warstwy hydro i oleofobowe
- ograniczenie zdolności sorpcji układów nanoporowatych
