Projekty Mobile ALD system for in-vacuo surface science measurements (MOBIALD)

Projekt MOBIALD ma na celu dostarczenie rozwiązania pozwalającego na badanie mechanizmów reakcji powierzchniowych związanych z procesami osadzania warstw atomowych z fazy gazowej (ALD) przy użyciu plazmy, dzięki zastosowaniu mobilnego systemu ALD.
Główne założenia projektu:
1. MOBIALD dostarczy demonstrator mobilnego systemu ALD z możliwością transferu próbek w próżni (in-vacuo) do badań w wysokiej i ultrawysokiej próżni (HV/UHV) – zarówno w krajowych jak i międzynarodowych laboratoriach specjalistycznych.
2. Projekt dostarczy dowodów pomiarów w zakresie nauki o powierzchni przeprowadzonych przy użyciu demonstratora mobilnego systemu ALD.
Pomiary właściwości powierzchni obejmują spektroskopię absorpcyjną w zakresie promieniowania rentgenowskiego (fluorescencję rentgenowską oraz pomiar całkowitego prądu elektronowego) realizowaną w polskim ośrodku synchrotronowym SOLARIS przez polskiego partnera AGH, a także badania spektroskopii fotoelektronów rentgenowskich (XPS) prowadzone na aparaturze laboratoryjnej AGH.
Cele naukowe obejmują charakterystykę nukleacji i wczesnych etapów wzrostu tlenków Al₂O₃, ZnO i Cu na powierzchniach metalicznych i hydroksylowanych, a w szczególności – sposób oraz zakres adsorpcji i chemisorpcji prekursorów gazowych ALD po każdym pół-cyklu sekwencyjnie dostarczanych gazów. Pomiar ten dostarczy informacji na temat kluczowych aspektów interfejsu oraz rosnącej warstwy, takich jak: stan chemiczny i elektronowy atomów oraz skład pierwiastkowy.
Projekt MOBIALD realizuje swoje główne cele dzięki konsorcjum łączącemu komplementarne kompetencje w następujących obszarach:
a) Symulacje reaktorów ALD w zakresie równomiernej temperatury i laminarnego przepływu gazów – szwajcarski partner badawczy EMPA
b) Kontrola procesów gazowych i plazmowych ALD oraz bezpieczeństwo – polski partner badawczy CBRTP
c) Badania powierzchni – polski partner badawczy AGH
d) Projektowanie i wykonanie reaktorów procesowych – polski partner przemysłowy MeasLine

Projekt realizowany zgodnie z umową o dofinansowanie nr SPPW/MOBIALD/0086/2024-00 w ramach programu "Badania naukowe i Innowacje"

Okres realizacji: 01.04.2025 r. – 31.03.2027 r.
Wartość projektu: 4 646 320,32 PLN
Wysokość wkładu Funduszy Europejskich: 4 478 140,32 PLN

Członkowie konsorcjum naukowo – przemysłowego:
- Centrum Badań i Rozwoju Technologii dla Przemysłu S.A.
- Akademia Górniczo-Hutnicza im. St. Staszica w Krakowie
- MeasLine Sp. z o.o.
- EMPA, Swiss Laboratories of Materials Science and Technology, Laboratory for Mechanics of Materials and Nanostructures